5月13日,韩国产业通商资源部对外宣布,全球光刻机龙头大厂阿斯麦(ASML)计划在韩国建设光刻设备再制造工厂及培训中心,新厂预计在2025年建设完成。
ASML是一家总部设在荷兰艾恩德霍芬的全球最大的半导体设备制造商之一。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,比如英特尔(Intel)、三星(Samsung)、海力士(Hynix)、台积电(TSMC)、中芯国际(SMIC)等。
回归正题,ASML的再制造厂,究竟有何玄机?所谓再制造,指的是以旧的机器设备为毛坯,采用专门的工艺和技术,在原有制造的基础上进行一次新的制造,而且重新制造出来的产品无论是性能还是质量都不亚于原先的新品。而此次ASML计划在韩国新建的EUV再制厂,主要用途就是为韩国当地运行的EUV光刻机维护、升级提供助力。
简单来说,就是ASML将淘汰的旧设备、故障设备进行修复,使其恢复如新。
对芯片制造商来说,先进的光刻机至关重要。目前最先进的5nm制程工艺,需要大量的光刻机。众所周知,ASML是全球唯一一家能够生产EUV光刻机的半导体设备供应商。但是ASML的EUV光刻机产能十分有限,一年只能生产30台左右EUV光刻机。
而全球对光刻机的需求也在不断激增,除了在产能方面发力之外,延长当前运行光刻机的使用寿命,也是必要工作。光刻机的使用寿命延长,不仅可以减轻当地产业的生产压力,也能为产能不足提供一定的缓冲。
其次,这对我国来说也是一个好消息。在2019年,中芯国际就向AML订购了一台光刻机,但美国一直放行。所谓条条大路通罗马,美国一直不肯让阿斯麦向中企供应EUV光刻机,我国企业也想出了其他招数应对。
例如,2020年9月,我国半导体材料制造商晶瑞股份就发布公告,宣布该司以1102.5万美元的价格,从韩国SK海力士手上购入了一台二手ASML光刻机。
由此看来,如今ASML有意对韩国的一些EUV光刻机设备进行更新升级,或许将来中企也能从韩国企业手中承接一些二手的EUV光刻机设备。
值得一提的是,此前韩国便已发布了半导体强国建设战略规划,将半导体研发税额抵扣率提升至40~50%,并且还拟斥资约4500亿美元建设全球最大的芯片制造基地,韩国想跻身芯片半导体大国行列的意图不言而喻,此次阿斯麦赴韩国建厂,对加快韩国半导体建设将会有很大的助力。